産品(pin)時間:2025-12-01
微小氣(qi)體流量(liàng)計,MF4001氣體(ti)流量計(jì)是廣州(zhou)迪川儀(yi)器儀表(biao)有限⛱️公(gong)司🌈專門(men)爲各類(lèi)小流量(liàng)氣體的(de)測量和(hé)過程控(kong)🔴制而🏃🏻♂️設(she)計🈲的。這(zhe)一系列(liè)傳感器(qi)均采用(yong)本公司(si)自主研(yán)發的微(wei)機電系(xì)🤟統(MEMS)流量(liàng)傳感芯(xīn)片來制(zhi)作,适用(yòng)于各類(lei)清潔氣(qi)體💋。*的封(feng)裝技術(shu)使之可(kě)用于各(ge)類管徑(jìng),成本低(di)、易安裝(zhuang)、不需要(yào)溫度壓(yā)力補償(chang),可替代(dài)容積式(shì)或壓差(cha)式的傳(chuan)統流量(liàng)傳感器(qì)。
微小氣(qi)體流量(liang)計,MF4001氣體(tǐ)流量計(jì)
産(chan)品簡介(jiè):
FS4001系(xì)列小流(liu)量氣體(ti)質量流(liú)量傳感(gǎn)器是廣(guang)州迪川(chuan)儀♻️器😍儀(yi)表有限(xian)🔴公司專(zhuan)門爲各(ge)類小流(liu)量氣體(ti)的測量(liàng)和過✍️程(chéng)控制而(er)設計✊的(de)。這一系(xi)列傳感(gan)器均采(cai)用本公(gong)司自主(zhu)研發的(de)微機電(dian)系統(
MEMS)流量(liang)傳感芯(xīn)片來制(zhì)作,适用(yòng)于各類(lei)清潔氣(qì)體。*的封(fēng)裝技術(shù)使之可(ke)用于各(gè)類管徑(jing),成本低(dī)、易安裝(zhuang)、不需要(yào)溫度壓(ya)力補償(chang),可替代(dai)容積式(shi)或壓差(chà)式的傳(chuan)統流量(liang)傳感器(qì)。
産(chǎn)品特點(diǎn):
微小氣(qì)體流量(liang)計,MF4001氣體(tǐ)流量計(jì)
- 傳(chuán)感器靈(líng)敏度高(gāo)
,有(yǒu)極小的(de)始動流(liú)量
- 傳感器(qi)芯片采(cai)用熱質(zhì)量流量(liang)計量
,無需(xū)溫度壓(ya)力補償(cháng)
,保(bao)證了傳(chuán)
- 感(gǎn)器的高(gao)精度計(ji)量
- 在單個(ge)芯片上(shang)實現了(le)多傳感(gǎn)器集成(chéng)
,使(shi)傳感器(qi)的量程(chéng)比大大(da)提高
- 傳感(gǎn)器的零(ling)點穩定(ding)度高
- 全量(liang)程高穩(wen)定性
- 全量(liang)程高精(jīng)确度和(he)優良的(de)重複性(xìng)
- 低(dī)功耗
- 低壓(yā)損
- 響應時(shí)間快
主要(yào)參數:
|
性能(neng)參數 |
FS4001 |
單位(wei) |
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通(tōng) 徑(jing) |
1.0 |
1.8 |
mm |
|
zui大(dà)流量 |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SLPM |
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量程(cheng)比 |
2132132132131231312100:1 |
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精 度 |
±(1.5+0.2FS) |
% |
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重複性(xìng) |
0.25 |
%讀(du)數 |
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零點輸(shū)出飄移(yí) |
±30 |
mV |
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輸(shū)出飄移(yi) |
±0.12 |
%/oC |
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響(xiang)應時間(jiān) |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
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工(gong)作電源(yuán) |
8~18Vdc,50mA |
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輸(shū)出方式(shi) |
線(xiàn)性, RS232/模拟電(dian)壓 0.5~4.5Vdc |
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zui大流量(liàng)壓損 |
350 |
300 |
pa |
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zui大工(gōng)作壓力(li) |
0.5 |
MPa |
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工(gong)作溫度(dù) |
-10 ~ +55 |
oC |
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存(cun)儲溫度(du) |
-20 ~ +65 |
oC |
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工(gong)作濕度(du) |
<95%RH(無(wú)結冰、無(wu)凝露) |
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機械(xiè)接口 |
可拆(chai)式軟管(guǎn)接頭 |
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校準(zhun)方式 |
空氣(qi)(或其他(ta)氣體), 20oC, 101.325kPa |
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重量 |
15 |
g |
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訂貨(huò)詳情請(qǐng): 85628522
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