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FS4001系列實(shí)驗室氣體(tǐ)流量傳感(gǎn)器

産品時(shi)間:2025-12-01

簡要描(miao)述:

FS4001系列實(shí)驗室氣體(tǐ)流量傳感(gǎn)器适用于(yu)各類清潔(jié)氣體。*的封(fēng)裝技❓術使(shǐ)之可用于(yu)各類管徑(jìng),成本低、易(yi)安裝、不需(xū)要溫度壓(yā)力補償,可(kě)替代容積(ji)式或壓差(cha)式☂️的傳統(tǒng)流量傳感(gan)器。

産品簡(jiǎn)介:

FS4001系列實(shi)驗室氣體(tǐ)流量傳感(gǎn)器 是(shi)專門爲各(ge)類小流量(liang)氣體的測(ce)量和過程(chéng)控制而㊙️設(shè)👅計的。這一(yī)❤️系列傳感(gǎn)器均采用(yòng)本公司自(zi)主研發的(de)微機電💜系(xì)統( MEMS )流(liu)量傳感芯(xīn)片來制作(zuò)。

FS4001系列實驗(yàn)室氣體流(liú)量傳感器(qì) 适用(yong)于各類清(qīng)潔氣體。*的(de)封裝技術(shù)使之可用(yòng)于各類管(guǎn)徑,成本低(di)、易安裝、不(bú)需要溫度(dù)壓力補償(chang),可替代容(róng)積式或壓(yā)差式的傳(chuán)統流量傳(chuán)感器。


産品(pǐn)特點:
  - 傳感器靈(ling)敏度高 , 有極小(xiǎo)的始動流(liú)量
  - 傳(chuán)感器芯片(piàn)采用熱質(zhi)量流量計(jì)量 , 無(wú)需溫度壓(ya)力補償 , 保證了(le)傳
  - 感(gan)器的高精(jing)度計量
  - 在單個(ge)芯片上實(shí)現了多傳(chuán)感器集成(cheng) , 使傳(chuan)感器的量(liang)程比大大(da)提高
  - 傳感器的(de)零點穩定(ding)度高
  - 全量程高(gao)穩定性
  - 全量程(cheng)高精确度(dù)和優良的(de)重複性
  - 低功耗(hào)
  - 低壓(ya)損
  - 響(xiǎng)應時間快(kuai)

機械(xiè)尺寸:


主要(yao)參數:

FS4001

單位(wei)

通 徑

1.0

1.8

mm

大流(liu)量

30, 100, 200

500, 1000

SLPM

>100:1

 

±(1.5+0.2FS)

%

重複(fu)性

0.25

輸出飄(piāo)移

4, 8, 16, 33 , 65 , 131

工作電(dian)源

8~18Vdc,50mA

 

輸出方(fang)式

線性,RS232/模(mó)拟電壓0.5~4.5Vdc

 

大工作壓(ya)力

0.5

MPa

工作溫(wen)度

-10 ~ +55

oC

-20 ~ +65

oC

工作濕(shi)度

<95%RH(無結冰(bing)、無凝露)

 

機(ji)械接口

可(ke)拆式軟管(guǎn)接頭

 

校準(zhun)方式

空氣(qi)(或其他氣(qi)體),20oC,101.325kPa

 

重量

g

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